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一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法

关键词 抛光液 , 纳米金刚石 , 三磨所|2015-12-14 09:33:32|行业专利|来源 中国磨料磨具网
摘要 申请号:201510655728.2申请日:2015.10.13国家/省市:中国河南(41)
       申请号: 201510655728.2
       申请日: 2015.10.13
       国家/省市: 中国河南(41)
       公开号: 105131842A
       公开日: 2015.12.09
       主分类号: C09G 1/02(2006.01)
       分类号: C09G 1/02(2006.01)
       申请人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
       发明人: 王沛; 王志强
       代理人: 牛爱周
       代理机构: 41119
       申请人地址: 河南省郑州市高新区梧桐街121号

       摘要: 本发明公开了一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,属于超精密抛光技术领域。该方法包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。球磨过程中陶瓷球主要赋予金刚石微粉作用力,使金刚石微粉与纳米金刚石团聚体发生碰撞、挤压,对团聚体表面进行小幅度研磨,并将团聚体上的突出部分(因团聚方式不同造成团聚形貌不规整)移除,使其形貌更接近球形,从而达到形貌修整目的。修整后再通过离心、过滤的方式将微米级金刚石与纳米级金刚石团聚体分离,得到可直接用于蓝宝石晶片抛光加工的纳米金刚石抛光液。

       主权利要求 1.抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,其特征在于:包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。
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