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一种碳化硅光学镜面加工方法

关键词 碳化硅 , 光学镜面 , 研磨|2015-05-26 09:20:45|行业专利|来源 中国磨料磨具网
摘要 申请号:201410744012.5申请日:2014.12.09国家/省市:中国西安(87)
       申请号: 201410744012.5
       申请日: 2014.12.09
       国家/省市: 中国西安(87)
       公开号: 104625888A
       公开日: 2015.05.20
       主分类号: B24B 1/00(2006.01)
       分类号: B24B 1/00(2006.01)
       申请人: 陈建秋
       发明人: 陈建秋
       代理人: 刘斌
       代理机构: 61220
       申请人地址: 陕西省西安市科技路20号

       摘要: 本发明碳化硅光学镜面加工方法涉及镜面加工领域,具体涉及碳化硅光学镜面加工方法,包括以下步骤:将磨料与水按质量比1:1混合调匀备用;粗磨,工件粗磨时,磨具采用碳化硅盘,在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间,并以一定的压力和相对运动速度进行研磨;细磨阶段一般采用研磨法,磨具沿用粗磨阶段磨具,磨料选用粒径在10~100um之间的碳化硼粉或金刚石微粉,与粗磨相似,在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间,并以一定的压力和相对运动速度进行研磨;本发明可对碳化硅镜面加工,能保证加工精度,提高上产效率,降低成本及工人劳动强度,具有一定的经济价值。

       主权利要求 1.一种碳化硅光学镜面加工方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,将磨料与水按质量比1:1混合调匀备用;第二步,粗磨,工件粗磨时,磨具采用碳化硅盘,在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间,并以一定的压力和相对运动速度进行研磨;第三步,细磨阶段一般采用研磨法,磨具沿用粗磨阶段磨具,磨料选用粒径在10~100um之间的碳化硼粉或金刚石微粉,与粗磨相似,在研磨过程中不断的将调好的磨料加入磨具与工件之间,并以一定的压力和相对运动速度进行研磨;细磨过程中的压力与相对速度也不宜过大,但是由于细磨阶段磨具与工件之间接触更紧密,接触面积变大,因此压力与速度可以比粗磨阶段相应加大;第四步,抛光,在抛光阶段的初期,采用聚氨酯制成的抛光盘,以较大的压力和较高的速度,以提高抛光效率;当细磨阶段的下表面破坏层被完全去除后,就应当逐渐降低压力与速度,以便于更好的控制面形精度,在抛光的最后阶段采用沥青抛光盘。
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