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【科普】CBN的异质外延

关键词每日科普|2025-09-11 11:47:05|来源磨料磨具

摘要采用晶格常数和表面能都与CBN非常接近的金刚石作为衬底，可以实现CBN的异质外延。这些外延单晶CBN薄膜制备的成功使得有效地应用CBN薄膜制备半导体器件成为可能。此外，也可利用其他...

采用晶格常数和表面能都与CBN非常接近的金刚石作为衬底，可以实现CBN的异质外延。这些外延单晶CBN薄膜制备的成功使得有效地应用CBN薄膜制备半导体器件成为可能。此外，也可利用其他材料作为衬底来进行CBN膜的异质外延。比如硅衬底预处理后可以实现TBN在衬底上的直接生长，可有效降低过渡层的厚度。

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