特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法_专利_磨料磨具网

特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法

关键词金刚石 , 特大孔径 , 涂层|2012-08-10 14:24:14|行业专利|来源中国磨料磨具网

摘要专利号：CN102140627A申请人：上海交通大学上海交友钻石涂层有限公司一种金刚石涂层技术领域的特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法，采用热丝化学气相沉积法在拉拔模的内孔表面...

　　专利号：CN102140627A

　　申请人：上海交通大学上海交友钻石涂层有限公司

　　一种金刚石涂层技术领域的特大孔径内孔金刚石平坦化涂层的制备方法，采用热丝化学气相沉积法在拉拔模的内孔表面依次进行直流正向偏流沉积、直流反向偏流沉积、直流还原沉积和优化沉积处理，得到特大孔径内径金刚石平坦化涂层。本发明用三相整流的直流电源来替代单相交流电源，从而解决了大功率供电的三相平衡问题，同时既能保证金刚石涂层的质量，又能提高涂层的表面平整度，减少涂层抛光工作量，提高涂层模具的合格率和可靠性。

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