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申请号: 201710082541.7
申请日: 2017.02.16
国家/省市: 中国河南(41)
公开号: 106811751A
公开日: 2017.06.09
主分类号: C23F 3/06(2006.01)
分类号: C23F 3/06(2006.01); C09G 1/02(2006.01)
申请人: 河南科技学院
发明人: 苏建修; 王占奎; 李勇峰; 姚建国; 陈佳鹏; 彭亚男; 刘振辉; 李洁静
代理人: 王加贵
代理机构: 11569
申请人地址: 河南省新乡市华兰大道东段河南科技学院机电学院

摘要： 本发明提供了一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂，包括下述重量份的组分：磨料1～10份，磨料分散剂1～15份，氧化剂1～20份，表面活性剂2～10份，碳纳米粉0.5～5份，pH值调节剂5～20份和pH值稳定剂1～5份；所述pH值稳定剂的pH值为2。采用包括本发明提供的抛光剂的抛光液对304不锈钢进行化学机械抛光，抛光过程中各组分稳定存在，为304不锈钢化学机械抛光过程中提供稳定的抛光环境，有助于化学机械抛光持续稳定进行，充分发挥化学机械抛光的优势，进而得到抛光效果良好的304不锈钢，满足柔性衬底的要求。

主权利要求
1.一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂，包括下述重量份的组分：磨料1～10份，磨料分散剂1～15份，氧化剂1～20份，表面活性剂2～10份，润滑剂0.5～5份，pH值调节剂5～20份和pH值稳定剂1～5份；所述pH值稳定剂的pH值为2。