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申请号: 201620963357.4
主分类号: F27B 14/06(2006.01)
申请人: 长沙诺天电子科技有限公司
发明人: 黄超斌; 成友为
摘要：
       本实用新型公开了一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于：所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。本实用新型用于碳化硅烧结，热温度均匀、加热温度超高、且连续可调。 主权利要求：
       1.一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于：所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。